在半导体制造过程中,清洗环节的泡沫问题常导致晶圆表面残留、工艺效率降低甚至设备污染。传统消泡剂易引入杂质或稳定性不足,影响芯片性能和良率。

凯密泰克专注于半导体级消泡剂研发,针对行业痛点提出核心解决方案:
1. 低泡配方设计:采用高纯度聚醚改性硅氧烷材料,兼容酸碱清洗体系,快速破泡且无残留;
2. 工艺适配性:通过动态泡沫测试与产线模拟,匹配超声、喷淋等清洗方式,减少泡沫再生;
3. 稳定性强化:耐高温、抗电解质特性,避免因环境波动导致失效;
4. 应用指导:提供从添加比例、注入点到循环系统的全流程技术支持。
某晶圆制造客户在先进制程中遭遇清洗槽泡沫溢出问题,导致产能下降15%。凯密泰克通过分析清洗剂成分与工艺参数,推荐定制化消泡剂KM-288系列。实施后泡沫控制率达99%,清洗周期缩短20%,且晶圆表面接触角测试显示无疏水性残留。客户已持续采购12个月。
凯密泰克消泡剂均通过颗粒度与离子污染检测,如需获取免费试样或技术方案,请联系我们的工程师团队。
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