在光刻胶制造中,光引发剂、颜料等固体颗粒的分散均匀性直接影响成膜质量和光固化效率。凯密泰克(Chemi Tech)开发的专用分散剂通过独特的分子结构设计,有效降低颗粒表面能,防止团聚现象。其作用机制包括:

凯密泰克分散剂

锚固基团吸附:分散剂中的极性基团紧密包覆颗粒表面,形成空间位阻层,减少颗粒间范德华力。

溶剂化链延伸:在树脂体系中展开的长链结构维持分散稳定性,尤其在高速搅拌和长期储存中抑制沉降。


光刻胶应用案例:

某半导体光刻胶企业采用凯密泰克分散剂处理纳米级光引发剂(粒径≤200 nm)。结果显示:

分散后颗粒粒径分布标准差下降至±15 nm(原为±50 nm);

光固化效率提升30%,因颗粒均匀分布增强了紫外光吸收一致性;

光刻线条边缘粗糙度(LER)降低至5 nm以下,满足DUV光刻精度需求。


技术优势:

兼容性强:适用于丙烯酸酯、环氧树脂等主流光刻胶体系;

低添加量:仅需0.5~2 wt%即可实现长效分散;

耐温性:在光刻胶烘烤工序(80~120℃)中保持性能稳定。